Минпромторг и НИИМЭ обсуждают разработка полигона для отработки микроэлектроники

АО «Научно‑исследовательский институт молекулярной электроники» (НИИМЭ, входит в состав ГК «Элемент») обсуждает с Минпромторгом разработка испытательного полигона при институте, рассказал «Ведомостям» его гендиректор Александр Кравцов. Площадки нужны для отладки новых компонентов, прежде чем встроить их в серийное производство. Ведомство уже начало разрабатывать два испытательных полигона для микроэлектроники, рассказал заместитель министра промышленности и торговли Василий Шпак.

По словам Шпака, площадки под полигоны уже определили, а их ввод запланировали на 2028–2029 годы. В 2025 году CNews писал, что Минпромторг выделил 54,5 млрд рублей на центры внедрения оборудования и материалов для микроэлектроники. Речь шла о строительстве Базового центра и Стартового центра в Зеленограде, а также центра СВЧ‑электроники в Санкт‑Петербурге. Ввести объекты в эксплуатацию планировали в 2027–2028 годах.

Как рассказал Шпак, стратегической задачей полигонов станет разработка целостной цепочки производства интегральных микросхем на российских установках. Сообщается об опытной линии для пластин диаметром 100–150 мм. В качестве материалов подложек будут применять арсенид галлия (GaAs), нитрид галлия на кремнии (GaN/Si) и нитрид галлия на карбиде кремния (GaN/SiC).

Сейчас НИИМЭ использует «Микрон» как базовую производственную площадку, но вмешательство в его технологический процедура, чтобы испытать новые решения, может приводить к «нарушению серии и поставок», рассказал Кравцов. Такая инфраструктура нужна не только НИИМЭ, но и другим предприятиям, подчеркнул генеральный директор института. В результате полигон должен предусматривать всю цепочку технологий, оборудования и машин: и тестирование, и производство самой химии и оборудования. По словам Кравцова, в будущем планируется серия полигонов: одну площадку задействуют под СВЧ интегральные схемы, вторую — под кремниевые технологии для пластин до 150 нм.

Такой полигон будет целесообразен в том случае, если сообщается о классе 200–300 мм и нормах 65 нм и ниже, так как именно в этом у НИИМЭ есть компетенции, считает независимый аналитик и автор Telegram‑канала RUSmicro Алексей Бойко. Он может помочь сгладить проблему с отработкой создаваемых комплектующих, сообщает Бойко. Появление полигона при НИИМЭ закроет базовый этап отработки технологий и квалификации оборудования на пластинах диаметром 100–150 мм, но, когда отработанный процесс понадобится перенести на промышленные линии «Микрона» или «НМ‑теха» с пластинами 200 или 300 мм, технологи столкнутся с совершенно иными физическими свойствами, отметила гендиректор холдинга контрактной разработки электроники SNDGlobal Ольга Квашенкина.

Первоначальные вложения (3–5 лет) в создание полигонов могут варьироваться от 2 млрд до 20 млрд рублей, рассуждает партнёр практики «Промышленность и технологии» компании Strategy Partners Роман Тиняев. По оценке Квашенкиной, возведение такого полигона обойдётся примерно в 15–25 млрд рублей. Около 60–70% от всей суммы сформирует закупка технологического и аналитического оборудования. Оставшиеся 5–10% бюджета уйдут на проектно‑изыскательские работы, прохождение государственных экспертиз и монтаж систем аварийного газового анализа.

Главный экономический риск проекта лежит в последующей эксплуатации полигона, считает Квашенкина. По мнению эксперта, пилотный полигон по своей природе убыточен, не может окупаться за сёт коммерческих заказов и потребует от государства постоянного субсидирования его текущих операционных расходов.

В то же время в России наблюдается нехватка полигонов в целом, следовательно при создании такой площадки выигрыш во времени может быть не столь большим, так как ограничивающим фактором по‑прежнему останутся производственные возможности. Если новый полигон позволит сократить отработку на полгода‑год, то из‑за ограничений по производственным возможностям изготовителя оборудования выигрыш для отрасли будет меньшим, объяснил Бойко. При этом создание полигонов актуально в связи с разработкой крупный номенклатуры производственного оборудования и санкций. Отечественный контур испытаний становится практически единственным надёжным вариантом, заключил аналитик.