Статьи по тегу «150 нм»
29 июля 2026, 00:17
СМИ: «ЗНТЦ создал установку электронно‑лучевой литографии по технологии 150 нм для фотошаблонов и спецмикросхем»
В России создана суверенная установка электронно‑лучевой литографии с проектными нормами 150 нм для выпуска чипов. Оборудование разработало АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ). Сейчас